国内首台,中企东方晶源300mm硅片量测设备问世!中芯国际已下单

时间:2021-07-06 19:35 来源:金十数据 作者:佚名 阅读:1893 原文链接:点击获取

在全球半导体产业“缺芯”,国内相关产业也存在技术空白的情况下,芯片产业链的每个环节,都是中国芯片企业们面临的行业使命。好在,在我国企业大举投入人力物力财力“攻关”的情况下,芯片领域也不断传来好消息。

IT之家76日报道,知名芯片量测设备制造商东方晶源日前宣布,国内首台关键尺寸量测设备(CD-SEM)已顺利“面世”,真正填补了国产12英寸硅片量测设备的空白。

要知道,在半导体的制造中,检测步骤贯穿了生产过程的始末,包括最初的涉及验证环节、到中间的工艺、晶圆测试,还有最后的成品测试等。在电子零部件领域还有“错一赔十”

共识——若芯片的故障没有在测试中发现,那应用到电路板之后将承担10倍的故障成本。可见检测环节对于半导体生产的重要意义。

根据东方晶源方面的说法,这台CD-SEM设备主要用于12英寸(300mm)硅片的量测,包括对相关产品的薄膜厚度制程的测试,以及芯片完成刻蚀流程环节后,对硅片电性参数的影响等。目前,这款设备已经拿到了我国第一大芯片代工商——中芯国际的订单。

在芯片量测设备领域,中芯国际一直是东方晶源的“老客户”。2019年,东方晶源顺利攻克了业界难题(指“电子束缺陷检测技术”),研发出的首台电子束缺陷检测设备就交由了中芯国际使用。

要知道,当前中芯国际可是撑起了国内芯片代工的“一片天”。作为我国芯片代工巨头,今年1-3月,中芯国际的产能利用率就达到98.7%,旗下所有工厂处于几乎“满负荷运转”的状态。到了7月,中芯国际又传出一个好消息,其在我国浙江绍兴开设的晶圆制造项目——中芯绍兴目前的晶圆产能提升至7万片/月,良品率达到99%。

据悉,除了国内企业的芯片订单以外,中芯国际还不断接到欧美客户的订单。中芯国际在5月13日的季度财报中指出,今年前3个月,该集团有约45%的营收来自欧美企业。预计二季度收入将实现17%-19%的增幅,1-6月的总营收将达158亿元。

今年3月,国内多家媒体曝出消息,美国政府已经做出让步,同意部分美企为中芯国际供货,具体涉及中芯国际成熟工艺的半导体设备。关于海外设备供应的问题,中芯国际也在5月14日当天表示,接下来将按照合理合法的流程,继续与这些供应商进行沟通,有信心保证自家的生产经营在短期内不受影响。

更令人欣喜的是,当前中芯国际依旧“维系”着与华为海思的芯片合作。在6月下旬的股东大会上,中芯国际代表人士——赵海军就公开回应称,该司与华为海思仍然按照合规的途径展开合作。赵海军还强调,作为一家国际化的企业,中芯国际的一举一动都是合法合规的,经得住任何调查和考验。

文|廖力思题 | 曾 图|卢文祥审 |曾